昆明光刻机震动测试

南京宁韵环境检测有限公司

南京宁韵环境检测有限公司是一家开展各类振动噪声第三方检测机构。公司组成了一支由声学博士为核心的技术队伍，已建成LMS 12+ 振动噪声分析系统、B&K PULSE分析系统、B&K 声强、B&K 2250声级计、B&K 声校准和BSWA 1级精度声级计。 公司具备各类酒店、商务场所、住宅以及乘用车、船舶、高速列车、机械设备等多个领域的振动噪声测试经验。已取得检验检测机构资质证书(CMA)。
防微振措施
建筑物地基基础的防微振设计应符合下列要求:
1抗震设防烈度为7度、8度的地区,建筑物基础持力层范围内存在承载力特征值分别小于80kPa、100kPa的软弱黏土层时,应采用桩基或人工处理复合地基。采用复合地基时,应按现行标准《建筑地基基础设计规范》G007和《建筑地基处理技术规范》JGJ79的有关规定进行载荷试验和地基变形验算;
2防微振厂房同一结构单元的基础不宜埋置在不同类别的地基土上。
地面结构或底板结构的防微振设计应符合下列要求:
1集成电路制造厂房前工序、液晶显示器制造厂房、纳米科技建筑及实验室应按防微振要求设置厚板式钢筋混凝土地面。当采用**地基时,地面结构厚度不宜小于500mm,地基土应夯压密实,压实系数不得小于0.95。当采用桩基支承的结构地面时,地面结构厚度不宜小于400mm,对于软弱土地区,不宜小于500mm;对于欠固结土,宜采取防止桩间土与地面结构底部脱开的措施;
2当地面为**长混凝土结构时,不宜设置伸缩缝,可采用**长混凝土结构无缝设计措施。

振动数据采集
1数据采集前,同型号传感器应进行试采样及比对分析。
2采样频率应大于数据分析截止频率的2倍,每个样本数据不应少于1024个。
3采样时间和次数应符合下列要求:
1随机振动不应小于20min;
2稳态振动不应小于5min;
3同类移动振源不应少于振源通过5次;
4同类冲击振动不应少于5次。
每次采样除规定的振源及振源组合外,其余振源应停止运行。
采用激振器激振时,应待激振频率及扰力幅值稳定时采样。

精密设备及仪器的立基础设计应符合下列要求:
1地面上设置的精密设备及仪器,基础底面应置于坚硬土层或基岩上。其他地质情况下,应采用桩基础或人工处理复合地基;
2精密设备及仪器受中低频振动影响敏感时,基础周围可不设隔振沟;
3精密设备及仪器的基台采用框架式支承时,宜采用钢筋混凝土框架,台板宜采用型钢混凝土结构,其周边应设隔振缝;
4工艺设备层平台上设置的精密设备或仪器宜采用防微振基台,台板宜采用型钢混凝土结构,厚度不宜小于200mm。

测试设备及仪器安装
传感器安装应符合下列要求:
1 每1测点应安装3只同型号的单轴向传感器或三向一体传感器，测试方向应互相垂直,分别采集竖直向及水平向振动
数据;
2 3只单轴向传感器可固定在大于传感器质量20倍且不小于1kg的金属块上,可用螺栓、胶粘或磁性吸附方法固定于测试点;
3 **地基土场地应挖测试坑,去除虚土并夯实,测试坑底部应浇注薄层混凝土;
4 测试坑上应有防护设施,防护设施不得干扰正常的振动数据采集。
检测领域：各类环境噪声、室内低频噪声、电梯噪音； 空气声和撞击声隔声、混响时间、语音清晰度、开放办公声学特性、厅堂扩声；声屏障、隔声间、隔声罩和；各类振动测试评价、建筑结构振动、精密设备振动、机械振动测试；声功率和发射声压级测试；声强测试分析；轨道交通、汽车、船舶噪声检测。